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高精度定量吐出泵系列
高精度定量吐出泵系列 以半導體制造工序為...了解更多
高精度定量吐出泵系列
高精度定量吐出泵系列 以半導體制造工序為起點，廣泛應用于半導體，液晶，鋰電池，試劑等領域，用戶可根據用途及使用的工件，從驅動方式和泵的類型中選擇合適的泵。 定量吐出泵的特點： 接液部由氟樹脂構成，適用于各種藥液。 接液部采用無滑動部結構，幾乎不產生粒子， 無需日常維護，實現保持高重復精度額定量吐出。 定量吐出泵應用案例： 要求高重復精度和直線性的工藝，如晶片涂覆；藥液填充/稱重/混合 要求涂覆開始至結束的膜厚均勻性的工藝。如狹縫涂布，在磁盤上涂覆。
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高精度定量吐出泵系列 以半導體制造工序為起點，廣泛應用于半導體，液晶，鋰電池，試劑等領域，用戶可根據用途及使用的工件，從驅動方式和泵的類型中選擇合適的泵。 定量吐出泵的特點： 接液部由氟樹脂構成，適用于各種藥液。 接液部采用無滑動部結構，幾乎不產生粒子， 無需日常維護，實現保持高重復精度額定量吐出。 定量吐出泵應用案例： 要求高重復精度和直線性的工藝，如晶片涂覆；藥液填充/稱重/混合 要求涂覆開始至結束的膜厚均勻性的工藝。如狹縫涂布，在磁盤上涂覆。
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